[发明专利]一种测试器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010445263.9 | 申请日： | 2020-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN111665289A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱健 | 申请（专利权）人： | 苏州铟菲半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提出一种测试器件及其制备方法，测试器件包括：基底，以及在基底表面依次制备的加热电极、绝缘层以及测试电极；加热电极用于对测试电极加热，直至温度达到预设温度；测试电极用于在预设温度下与待测物质发生反应，生成测试信号。将基底、加热电极、绝缘层以及测试电极集成为面积较小的芯片，不仅提高了温度控制能力，还缩小了测试器件的体积，降低功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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