[发明专利]激光直接成像设备有效
| 申请号： | 202010445965.7 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111505916B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 龚双平;陈国军;马迪;吴景舟 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周卫赛 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及曝光技术领域，具体涉及一种激光直接成像设备，包括：工作台，工作台的台面设置有通孔，通孔内设置有带透光孔的遮光片；激光装置，设置在工作台的台面下方并且激光装置的出光口对准通孔，用于通过通孔向曝光件发出光线形成对准标记，其中，激光装置的出光光斑面积大于透光孔的横截面面积，对准标记的大小与透光孔的大小一致；图像采集装置，设置在工作台上方，用于采集曝光件上的对准标记；计算机设备，与图像采集装置连接，用于根据图像采集装置采集到的对准标记计算曝光件的对准误差。该设备解决了传统激光成像设备套筒与通孔中心不对准时导致的曝光图形不完整的现象，从而使得曝光件的双面曝光对准更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 成像 设备 | ||
【主权项】：
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