[发明专利]化学液体纯化装置及使用所述装置的纯化方法在审
| 申请号： | 202010460285.2 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN112007418A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 田中贤一;范政杰;黄圣宾 | 申请（专利权）人： | 台湾富士电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹县湖口乡新竹工*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种化学液体纯化装置，包括槽体、回流管、液体运送泵、过滤装置及管道。槽体具有连通至槽体内的存储空间的液体通道口及循环口。回流管的一端连接至循环口且另一端延伸至存储空间。液体运送泵及过滤装置位于槽体外部、液体通道口与循环口之间。管道将液体运送泵及过滤装置连接至液体通道口及循环口。本公开更涉及一种使用所述的化学液体纯化装置的纯化方法。据此，可在纯化装置中执行过滤循环。因此，可简化传统方法中所需要的溶剂装填工艺及溶剂填充工艺，且可改善制造时间。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 液体 纯化 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
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