[发明专利]掩膜版及掩膜组有效
| 申请号： | 202010461511.9 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111552125B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张少平;王颖;李向峰;雒斌;宋亚军;莫浩博 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;臧建明 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜版及掩膜组，其中，掩膜版包括掩膜版本体和遮光件，掩膜版本体包括曝光区和位于曝光区两侧的拼接区，掩膜版本体具有掩膜图形区域，遮光件包括用于遮挡掩膜图形区域的第一遮光件和第二遮光件，第一遮光件与曝光区对应设置，并可相对于曝光区移动，以改变掩膜图形区域在曝光区内的遮挡区域，第二遮光件与拼接区对应设置，并可相对于拼接区移动，以改变掩膜图形区域在拼接区内的遮挡区域，从而能够调节掩膜版本体的开口率大小，能够改善现有的掩膜组由于光源之间存在误差而导致的Mura问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 掩膜组 | ||
【主权项】：
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