[发明专利]基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法

摘要

本发明公开了一种基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，包括石墨舟就位、石墨舟上缓存架、进舟前镀膜检测、石墨舟进反应室、石墨舟出反应室、取片前镀膜检测、石墨舟返回插取片机等步骤。本发明在缓存架上设置检测石墨舟是否有无镀膜的装置，增加两步是否镀膜检测步骤，其一为机械手根据检测结果直接抓取缓存架上无镀膜的石墨舟放入推舟机构上，然后由推舟机构送入反应室内镀膜，可避免出现反应室内出现二次镀膜，其二为机械手根据检测结果抓取缓存架上有镀膜的石墨舟放在传送机构上，由传送机构送入插取片机进行取片，避免没有进行镀膜的硅片流入下一道工序，确保每一舟硅片完成镀膜，而且没有重复镀膜，保证了生产流程的顺畅。