[发明专利]一种静电检测装置和静电检测系统有效
| 申请号： | 202010469726.5 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111610383B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈建荣;林满育;薛小利;梁秀 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/24;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 361101 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种静电检测装置和静电检测系统，静电检测装置包括静电检测结构，静电检测结构包括多个静电检测单元；静电检测单元包括至少一个第一导电膜、第二导电膜和介质；第一导电膜和第二导电膜均为孤立导电膜；第一导电膜包括相互靠近第二导电膜的一侧的第一放电部，第一放电部包括至少一个第一放电分支，第一放电分支、介质和第二导电膜形成一条放电路径；第一放电分支包括靠近第一导电本体部一侧的第一端和靠近第二导电膜一侧的第二端，沿第一方向，第一端的延伸长度大于第二端的延伸长度，第一方向与第一导电膜指向第二导电膜的方向垂直，如此可以实现对面板生产过程中的静电检测，且静电检测装置结构简单，静电检测灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 检测 装置 系统 | ||
【主权项】：
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