[发明专利]热隔绝电接触探针及受热台板总成有效
申请号: | 202010472258.7 | 申请日: | 2016-04-18 |
公开(公告)号: | CN111586904B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 麦可·A·斯库拉么尔 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H05B3/14 | 分类号: | H05B3/14;H01R13/24;H05B3/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种热隔绝电接触探针及受热台板总成。热隔绝电接触探针包括:安装板,具有管状的销引导件,所述销引导件界定销通路;盖,耦合至安装板并具有颈部,所述颈部包围所述销引导件;以及绝缘销,具有杆部、凸缘部及空腔部,所述杆部安置于销通路内并界定导体通路,所述凸缘部在销引导件的顶部上方自杆部沿径向向外延伸,所述空腔部自凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括:弹簧,安置于凸缘部与安装板的中间,所述弹簧使凸缘部偏置离开安装板;电接触垫,安置于空腔内;以及电导体,耦合至电接触垫且延伸贯穿导体通路。 | ||
搜索关键词: | 隔绝 接触 探针 受热 总成 | ||
【主权项】:
暂无信息
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