[发明专利]蚀刻剂组合物、增粘剂、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺有效
| 申请号： | 202010472394.6 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN113736466B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 陈禹宁;钟明哲 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/02 | 分类号： | C09K13/02;H01L21/311;C08J7/00;C08L79/08 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 韩果 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻剂组合物、增粘剂、碱溶液、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺。蚀刻剂组合物包括增粘剂(A)以及碱溶液(B)。增粘剂(A)包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)。碱溶液(B)包括碱性化合物(d)和第二溶剂(c2)。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 增粘剂 聚酰亚胺 方法 以及 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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