[发明专利]酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统在审
申请号: | 202010472778.8 | 申请日: | 2020-05-28 |
公开(公告)号: | CN111644036A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 李再强;汪前程;张伟奇;梁民 | 申请(专利权)人: | 深圳市祺鑫环保科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/64;B01D53/68 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 郭春芳 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统。其中,所述尾气的处理方法包括以下步骤:将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作,以去除尾气中夹杂的铜离子;采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作,以进一步去除尾气中夹杂的铜离子;采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作,得到次氯酸盐溶液。本发明的技术方案能够降低尾气处理成本。 | ||
搜索关键词: | 酸性 蚀刻 电解 系统 尾气 处理 方法 及其 | ||
【主权项】:
暂无信息
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