[发明专利]一种层间粘附力的测试方法及测试样片制备方法有效
| 申请号： | 202010476884.3 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111551488B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 屈新萍;王鹏;胡春凤 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04;G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;章丽娟 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种层间粘附力的测试方法及测试样片制备方法，测试样片包含硅片衬底条和附着在其表面的待测薄膜，将其放置于四点弯曲测试仪夹具中对应位置，用于测试薄膜粘附性，该测试样片的制备方法包含：获得符合目标尺寸的若干个含有待测薄膜的硅片衬底条；根据材料的弹性模量和断裂强度大小，选择若干个第二层衬底结构；将第二层衬底结构的一表面进行粗糙化处理；将硅片衬底条的含待测薄膜的一面与第二层衬底结构的粗糙化处理后的表面粘接。本发明通过对衬底材料、结构以及测试方法的改进，显著提高测试成功率，提升了四点弯曲法测试粘附力的数值上限。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘附 测试 方法 样片 制备 | ||
【主权项】：
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