[发明专利]一种翘曲片检测方法、装置及设备有效
| 申请号： | 202010478530.2 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN113739726B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 韩强;张俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/24 | 分类号： | G01B13/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种翘曲片检测方法、装置及设备，其中翘曲片检测方法应用于翘曲片检测装置进行检测，其中翘曲片检测装置包括弹性材质的检测头，以及与检测头连通的流量传感器；翘曲片检测方法包括：控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置；控制将待检测片放置于预对准台表面，待检测片覆盖检测头；通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值；根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值。本发明实施例提供的技术方案简化了翘曲片检测方法，能够快速准确的获得待检测片的翘曲度，提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 翘曲片 检测 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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