[发明专利]一种电沉积金结构的电阻特性分析方法在审
| 申请号： | 202010482069.8 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111596135A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 朱效立;刘林韬;牛洁斌;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电沉积金结构的电阻特性分析方法，涉及材料检测技术领域，通过利用电化学工作站检测金叉指电极的阻抗，避免了接触式测量中由于电沉积金结构本身的结构不同，以及对电沉积结构测量时的接触面积不同对测量结果的影响。电沉积金结构的电阻特性分析方法包括以下步骤：提供多个金叉指电极，多个所述金叉指电极的电阻相关参数不同；利用电化学工作站检测多个所述金叉指电极在不同的频率正弦电压下的阻抗；根据所述多个金叉指电极在不同频率的正弦电压下的阻抗分析电沉积金结构的电阻特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 结构 电阻 特性 分析 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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