[发明专利]一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010493046.7 申请日: 2020-06-03
公开(公告)号: CN111605037A 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 黄田奇;张科;李康;李强 申请(专利权)人: 福建阿石创新材料股份有限公司
主分类号: B28B1/26 分类号: B28B1/26;B28B7/34;B28B7/18;B28B7/30;B28B11/24;C04B35/457;C04B35/622
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 赵晓琳
地址: 350200 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及靶材制备技术领域,提供了一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。本发明提供的高压注浆成型装置包括成型装置、高压注浆装置和抽滤装置;所述的成型装置设置真空抽滤室、树脂外模和可伸缩的树脂内模。本发明将高压注浆与抽滤成型相结合,不仅能提高成型的效率和成功率,还能提高坯体的致密度;本发明提供的装置中具有可伸缩的树脂内模,通过逐节脱模的方法,可以减少每一次脱模的摩擦力,使脱模的成功率更高,同时也可通过该模具成型更大尺寸的旋转靶材,解决了目前企业中大型靶材无法脱模的问题。
搜索关键词: 一种 高压 成型 装置 以及 ito 旋转 制备 方法
【主权项】:
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