[发明专利]一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法在审
申请号: | 202010493046.7 | 申请日: | 2020-06-03 |
公开(公告)号: | CN111605037A | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 黄田奇;张科;李康;李强 | 申请(专利权)人: | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
主分类号: | B28B1/26 | 分类号: | B28B1/26;B28B7/34;B28B7/18;B28B7/30;B28B11/24;C04B35/457;C04B35/622 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 赵晓琳 |
地址: | 350200 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及靶材制备技术领域,提供了一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。本发明提供的高压注浆成型装置包括成型装置、高压注浆装置和抽滤装置;所述的成型装置设置真空抽滤室、树脂外模和可伸缩的树脂内模。本发明将高压注浆与抽滤成型相结合,不仅能提高成型的效率和成功率,还能提高坯体的致密度;本发明提供的装置中具有可伸缩的树脂内模,通过逐节脱模的方法,可以减少每一次脱模的摩擦力,使脱模的成功率更高,同时也可通过该模具成型更大尺寸的旋转靶材,解决了目前企业中大型靶材无法脱模的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 高压 成型 装置 以及 ito 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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