[发明专利]一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法在审
| 申请号： | 202010493054.1 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111609698A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 黄田奇;张科;李康;李强 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/14 | 分类号： | F26B15/14;F26B15/18;F26B23/08;F26B3/30;F26B25/06;F26B25/18;C04B35/638 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法，属于靶坯干燥领域。本发明提供的装置，利用了微波加热器和红外加热设备，使用了微波干燥和红外干燥混合干燥的方法，提高干燥的速率；横向移动导轨使靶坯在干燥过程中可以横向往复匀速运动，从而达到均匀干燥的目的，避免了微波干燥或红外干燥不均匀导致靶坯开裂的情况；且本发明所提供的装置是干燥脱脂一体炉，在同一个炉子可以同时完成干燥和脱脂两道工艺，简化了工艺，节省了工厂场地设备的投入。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 靶材坯体 干燥 脱脂 装置 方法 | ||
【主权项】：
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