[发明专利]机器人手臂在审

专利信息
申请号: 202010493080.4 申请日: 2020-06-03
公开(公告)号: CN112077830A 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 大波豪;小清水秀辉 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: B25J9/04 分类号: B25J9/04;B25J15/06;H01L21/677
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 乔婉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供机器人手臂,在对晶片进行搬送的机器人所具有的机器人手臂中,利用机器人手臂对呈中凹状弯曲的晶片的凹陷中央适当地进行吸引保持而进行搬送。机器人手臂(6)安装于机器人(1),对呈中凹状弯曲的晶片(W)的凹陷中央(Wf)进行吸引保持,其中,该机器人手臂具有:长条平板状的基台(60);吸盘(61),其配设于基台,对晶片的凹陷中央进行吸引保持;以及连通路(62),其使对晶片进行吸引保持的吸盘的吸附面(610d)与吸引源(69)连通,按照在利用吸附面对晶片进行了吸引保持时晶片的外周部分不与安装有吸盘的基台的一个面(60a)接触的方式,将吸盘(61)相对于一个面(60a)垫高。
搜索关键词: 机器人 手臂
【主权项】:
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