[发明专利]掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法

摘要

本申请提供了一种掩膜板的清洁装置、清洁系统和清洁方法。该掩膜板的清洁装置包括：清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；清洁棒包括棒体和粘头，粘头设置于棒体的一端；外壳为两端开口的中空筒，外壳固定于支架上，清洁棒内置于外壳内部；推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接，推杆的另一端与驱动机构的动力输出端连接，推杆在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳进行上下移动，使得粘头、或者粘头和棒体的一部分伸出外壳。本申请实现了通过粘头的粘性来修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证金属掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。