[发明专利]一种OLED制程提高光刻胶剥离效果的方法有效
| 申请号： | 202010499955.1 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111628117B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 胡璐 | 申请（专利权）人： | 南京华易泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/00 | 分类号： | H10K71/00;H10K71/15;H10K71/16;H10K50/10 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 林鹏 |
| 地址： | 210043 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明专利公开了一种OLED制程提高光刻胶剥离效果的方法，其方法包括如下步骤：首先在OLED基板上涂覆一层光阻层(PR)；对涂覆光阻层的基板上方，用掩膜版覆盖，从上方进行曝光照射，使曝光区域下的光刻胶发生光化学反应，将掩膜版阻挡的部位定义为A区域；OLED基板上被掩膜版阻挡的部位A区域的光刻胶溶解脱落；本发明专利通过干刻蚀法对表面蒸镀OLED功能层的基板进行处理，使得剥膜液可以顺利在OLED功能层未覆盖的光阻裸露区域与其接触，达到有效去除光阻目的，解决了目前采用的OLED蒸镀制程工艺在进行蒸镀后光刻胶难剥离，容易造成光刻胶无法顺利去除，从而影响后续制程的问题，避免了OLED显示器产生像素点缺色形成黑点，造成显示不良的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 提高 光刻 剥离 效果 方法 | ||
【主权项】：
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