[发明专利]一种近红外透过滤光片及其制备方法有效
申请号: | 202010507670.8 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN111736252B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 陆张武;吴靖;王迎;李恭剑;徐征驰 | 申请(专利权)人: | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G02B5/20;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/30;C23C14/35 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 张海兵 |
地址: | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种近红外透过滤光片及其制备方法,属于镀膜技术领域。滤光片包括玻璃基底、设于玻璃基底一侧的长波通膜系、以及设于玻璃基底另一侧的AR膜系;长波通膜系包括逐层交替沉积的高折射率膜层和中折射率膜层,以及为低折射率膜层的最外层;AR膜系包括逐层交替沉积的中折射率膜层和低折射率膜层。方法包括:采用磁控溅射方法在玻璃基底一侧沉积上述长波通膜系,并采用电子束蒸发方法在玻璃基底另一侧沉积上述AR膜系。本发明可以满足大角度(0‑52°)光谱特性要求,且在可见光/截止波段具有低反射特性(<4.5%),可以消除杂反光对光学元件光谱特性的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 透过 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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