[发明专利]一种真空溅射镀膜机及其吸灰方法有效
| 申请号： | 202010507680.1 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111575672B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陆张武;於霄峰;徐勇军;李恭剑 | 申请（专利权）人： | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 张海兵 |
| 地址： | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种真空溅射镀膜机及其吸灰方法，属于镀膜技术领域。真空溅射镀膜机包括镀膜腔室PR‑CH、搬送腔室LL‑CH、开门阀；LL‑CH和PR‑CH处均设有吸灰基板，或者PR‑CH设有吸灰基板；吸灰基板面朝腔室内侧面设有粘灰层。当两个腔室均设有吸灰基板时；方法包括：将LL‑CH抽气至小于压强阈值；对PR‑CH进行充气净化，使得PR‑CH内污染物吸附在吸灰基板上；在LL‑CH完成抽气和放气后，停止对LL‑CH抽气，打开开门阀，对连通的LL‑CH和PR‑CH抽气一段时间并关闭开门阀；对LL‑CH进行充气净化，使得LL‑CH内污染物吸附在吸灰基板上。当镀膜腔室设有吸灰基板时，方法包括对PR‑CH进行充气净化，使得PR‑CH内污染物吸附在吸灰基板上。本发明在不开箱清洁的条件下，对腔体内部进行吸灰，吸灰完成后产品表面质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 溅射 镀膜 及其 方法 | ||
【主权项】：
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