[发明专利]一种电子束采集装置在审
| 申请号： | 202010516884.1 | 申请日： | 2020-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN111522054A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 易耀勇;房卫萍;张伟;何石;余陈;马越;罗兵兵 | 申请（专利权）人： | 广东省焊接技术研究所(广东省中乌研究院);北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 覃蛟 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种电子束采集装置，涉及电子束加工技术领域。电子束采集装置包括发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，偏转组件设置在发射组件与接收组件之间，采集组件设置在接收组件远离偏转组件的一侧，接收组件上设置有接收孔，采集组件与接收孔对应设置；发射组件用于发射电子束；偏转组件用于偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；采集组件用于检测束斑穿过接收孔后的电流，以获得光斑的束流值。在本发明中，电子束在偏转组件的偏转下依次在接收组件上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 采集 装置 | ||
【主权项】：
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