[发明专利]用于高纯碳化硅粉料的一种预制料处理方法有效
| 申请号： | 202010517169.X | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN112010311B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 韦玉平;程章勇;张云伟;陈颖超;杨丽雯;靳丽婕;何丽娟;李百泉;李天运;王丽君 | 申请（专利权）人： | 北京世纪金光半导体有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/984 | 分类号： | C01B32/984 |
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| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于碳化硅粉料合成的预制料处理方法，包括：配料工序、料块预备、装配工序、混料工序、取料及保存工序。本专利技术和现有技术相比，其实质性特点和进步有两方面：1.运用高纯碳化硅晶锭的切割块作为磨料球，有效搅拌用于碳化硅粉料合成的原料，提高混料效率和均匀性。对于较大尺寸的原料，随磨料球数量的调整，可起到一定的破碎作用。2.对预制硅源和碳源进行按一定的配料时，引入扩散性较强的气体（如乙醇、氦气、氮气、氢气等），以利用气体填充度调整合成过程中所需的氮含量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高纯 碳化硅 一种 预制 处理 方法 | ||
【主权项】：
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