[发明专利]一种TEM样品的制备方法在审
| 申请号： | 202010522287.X | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111693554A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 钟超荣;齐瑞娟;成岩;黄荣 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/04;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京恒创益佳知识产权代理事务所(普通合伙) 11556 | 代理人： | 付金豹 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TEM样品制备方法，该方法包括以下步骤：使用聚焦离子束在目标结构上下两侧轰击出凹坑，对靠近目标结构两侧侧壁进行清理，然后对目标结构进行U型切割，而后使用纳米操纵仪将目标结构原位转移到铜支架上，然后将铜支架旋转90度使目标结构的侧面正对离子束方向，接着使用小束流将目标结构的侧面损伤区域切割清理干净，以便在目标结构的侧面上沉积保护膜，然后进行最后的细抛减薄。该方法可将传统FIB制备TEM样品侧面薄区范围从不足1微米提高到6微米以上，大大提高了对目标结构侧面微结构的观测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tem 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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