[发明专利]一种密封罩系统在审
| 申请号： | 202010530765.1 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112113723A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李永畴 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/28 | 分类号： | G01M3/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李婷婷 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供一种密封罩系统，包括依次相连的半封闭腔体、密封管和抽气结构，所述半封闭腔体采用硬质板材形成，形状固定，不易变形；而且，通过将半封闭腔体与含氟化物设备之间接合，形成密封腔体，从而能够将含氟化物设备中可能出现漏气的部位罩设住，若出现氟化物泄漏，则可以通过抽气结构将密封腔体内的气体抽离，通过抽气结构末端的气体处理装置对气体进行处理，再排放到大气中，避免了含氟化物设备出现漏气，造成生产环境含氟化物浓度较高，对半导体器件，如芯片进行腐蚀，导致的芯片生产良率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 系统 | ||
【主权项】：
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