[发明专利]修正方法在审
| 申请号： | 202010532996.6 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112092224A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 小松淳 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供修正方法，在使用切削装置进行边缘修剪之前，按照保持面与平行于卡盘工作台的旋转轴的直线大致垂直的方式对保持面进行修正。该修正方法对切削装置的保持面的高度进行修正，该切削装置具有：卡盘工作台，其能够利用所述保持面对被加工物进行吸引而保持，并且能够绕规定的旋转轴旋转；以及切削单元，其安装具有切刃的切削刀具，包含作为切削刀具的旋转轴的主轴，其中，该修正方法具有如下的步骤：旋转步骤，使卡盘工作台旋转；以及切削步骤，使以主轴为旋转轴而旋转的切削刀具的下端与旋转的卡盘工作台的保持面接触，从而对保持面进行切削而对保持面的高度进行修正。 | ||
| 搜索关键词： | 修正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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