[发明专利]一种更换动态气体锁的装置有效
| 申请号： | 202010543142.8 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111736431B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 顾峥;伍强;李艳丽 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种更换动态气体锁的装置，包括：储存盘，移动设于测量支架与工件台之间，所述储存盘上设有第一安装单元，所述第一安装单元用于吸附动态气体锁以存放，或者脱吸附以释放；所述测量支架上设有第二安装单元，所述第二安装单元用于吸附所述储存盘上被释放的所述动态气体锁以安装，或者脱吸附以拆卸；移动机构，用于根据指令将所述储存盘及其存放的所述动态气体锁移动并定位至所述第二安装单元下方；控制单元，用于指令所述移动机构移动，以及控制所述第一安装单元和所述第二安装单元对所述动态气体锁的吸附或脱吸附。本发明具有能在高真空腔内更换动态气体锁的优点，并能够节省更换时间，提高设备利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 更换 动态 气体 装置 | ||
【主权项】：
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