[发明专利]压印模板及其制备方法在审
| 申请号： | 202010547006.6 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111624851A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 刘震;张笑;郭康;谷新 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 曲鹏;解婷婷 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种压印模板及其制备方法。压印模板的制备方法包括：在基底上依次形成牺牲层和压印胶层；将由母模板翻制出来的软模板压印在所述压印胶层上，在所述压印胶层上形成位于图案区的压印图案和位于段差区的段差图案；去除所述段差区的压印胶层和牺牲层。在由软模板制备压印模板过程中，本发明实施例通过去除由软模板带来的段差图案，解决了现有小尺寸母模板复制成大尺寸压印模板过程中存在段差不良等问题，可以实现从小尺寸母模板向大尺寸压印机使用大尺寸压印模板的图案准确转移。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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