[发明专利]一种磁控式的硅片吸持装置在审
申请号: | 202010547474.3 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN111681940A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 徐俊 | 申请(专利权)人: | 杭州易正科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/30;H01J37/317 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 曹立成 |
地址: | 310000 浙江省杭州市西*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁控式的硅片吸持装置,包括竖直的支撑柱,支撑柱的下端固定连接有吸盘,支撑柱的上端固定在连接盘上,连接盘上端面的中部固定有电磁铁,电磁铁的正上方设有永磁铁,永磁铁固定在升降盘上,升降盘的外圈上成型若干个第一支耳;所述电磁铁四周的连接盘上插接有若干导柱,导柱的上端固定在升降盘的第一支耳上,导柱的下端穿过连接盘固定在环形的压盘上,导柱上插套有压簧,压簧的两端分别压靠在第一支耳和连接盘上,所述连接盘的外圈固定有若干根连接柱,连接柱的上端固定在顶板,顶板位于升降盘的上方并成型有若干个安装孔。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁控式 硅片 装置 | ||
【主权项】:
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