[发明专利]缺陷检测系统、方法及图像采集系统在审
| 申请号： | 202010548840.7 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111693546A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 刘坚;姜潮;莫杰;胡芮嘉;邹德祥;张航;杨德志;索鑫宇;李蓉;陈宁 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京思睿峰知识产权代理有限公司 11396 | 代理人： | 谢建云;赵爱军 |
| 地址： | 410082*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷检测系统，包括：料台，布置在水平方向，适于放置一个或多个待检测芯片；水平移动滑台，与料台连接，适于带动料台水平运动，以便带动待检测芯片移动至预定位置进行图像采集；第一相机，布置在料台上方，且第一相机的轴线位于竖直方向，第一相机适于采集芯片的第一图像；第二相机，布置在料台上方，且第二相机的轴线位于与水平方向呈预定夹角的预定方向，第二相机适于采集芯片的第二图像；计算设备，与第一相机、第二相机相连，适于获取第一相机、第二相机采集的第一图像、第二图像，基于第一图像、第二图像获取芯片的缺陷信息，并根据缺陷信息确定芯片的损伤状态。此外，本发明还公开了相应的缺陷检测方法和图像采集系统。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 系统 方法 图像 采集 | ||
【主权项】：
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