[发明专利]一种含多环β-酮结构的光敏型光刻胶树脂单体及其合成方法在审

专利信息
申请号: 202010549411.1 申请日: 2020-06-16
公开(公告)号: CN111875500A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 傅志伟;贺宝元;邵严亮;潘新刚;薛富奎 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07C69/54 分类号: C07C69/54;C07C67/29;C07D309/12;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221327 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种含多环β‑酮结构的光敏型光刻胶树脂单体,涉及光刻胶树脂单体领域,其结构式如下所示:其中R1为甲基或者H,R2、R3分别独立的为氢、烷基、环烷基,R4为烷基或者环烷基,且R2和R4、R3和R4或者R2和R3可以通过共价键连接形成环状结构;n为1‑10的整数,该树脂单体具有曝光前后溶解度差异大,能够降低粗糙度,提高灵敏度和分辨率,有利于形成均一性良好的光刻图案,耐刻蚀性能良好。
搜索关键词: 一种 含多环 结构 光敏 光刻 树脂 单体 及其 合成 方法
【主权项】:
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