[发明专利]晶圆防干扰称重装置及其应用在审
| 申请号： | 202010558992.5 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113819985A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李欣;初春 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01G19/00 | 分类号： | G01G19/00;G01G21/23;G01G23/00;G01G23/06;G01N5/00 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆防干扰称重装置及其应用，其中，所述晶圆防干扰称重装置包括：量测室，所述量测室可提供一真空的量测腔，所述量测腔内设置有减振平台，所述减振平台上放置称重装置，所述量测室还设置有电磁屏蔽结构。该晶圆防干扰称重装置结构合理、成本低、防干扰效果好、可提高称重的准确性，使用环保材料，对洁净间的环境影响小，可用于薄膜工艺的重复性判断。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆防 干扰 称重 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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