[发明专利]金属残渣去除用洗涤剂组合物及利用其的半导体元件的制造方法在审
| 申请号： | 202010564486.7 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112175759A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 俞珍浩;郑润势;金惠智;李相大 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C11D7/06;C11D7/26;C11D7/36;C11D7/60;C11D1/72;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及金属残渣去除用洗涤剂组合物及利用其的半导体元件的制造方法，根据本发明，不仅对于金属残渣，而且对于洗涤对象的表面污染物也可以提供优异的清洁力，同时对于洗涤对象不会引起损伤而提高后续工序收率，从而可以用非常经济的方法提供可靠性高的半导体元件。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 残渣 去除 洗涤剂 组合 利用 半导体 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于易安爱富科技有限公司，未经易安爱富科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010564486.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变焦透镜及摄像装置
- 下一篇：具有盲装特征的配电箱组件
