[发明专利]一种薄膜制备设备及方法

摘要

本发明提供一种薄膜制备设备及方法，包括腔体、盖板、给气装置和衬底支撑装置；腔体和盖板密封偶接，衬底支撑装置固定于腔体底部，衬底支撑装置上表面有用于支撑衬底的可移除支件；给气装置偶接于盖板上且与衬底支撑装置彼此相对，给气装置包括气体混合腔和孔板调整装置，孔板调整装置由固定的气体筛板和可替换的孔板配合构成，气体筛板固定于气体混合腔体内。这样，通过固定的气体筛板和可替换的孔板调节气体混合腔内的气体流向晶圆的气体流量，进而在晶圆上对应不同喷气孔的位置形成不同厚度的薄膜，弥补晶圆表面薄膜厚度较薄位置的薄膜，调整晶圆表面薄膜的厚度分布，提高晶圆表面薄膜的均匀性。