[发明专利]一种抛光垫修整器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010567374.7 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111775073B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 郑凯铭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B53/017 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光垫修整器及其制作方法，包括：在基体上形成至少一个凹槽；在凹槽中设置固接材料；将选定的研磨颗粒的一端插入设置有固接材料的凹槽中，研磨颗粒的一端与固接材料接触；将固接材料加热至半熔融状态，以通过半熔融的固接材料将研磨颗粒与基体焊接固定；在基体上形成稳固层，稳固层围设于研磨颗粒的周边，以固定研磨颗粒，从而，能够利用固接材料和稳固层对研磨颗粒进行双重固定，且只需将固接材料加热至半熔融状态即可，能够降低制程温度，以避免由于制程温度高而导致金刚石研磨颗粒缺陷被恶化、以及金刚石研磨颗粒易从基体上脱落的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 修整 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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