[发明专利]一种CVD的激光加工设备及操作方法

摘要

本申请涉及一种CVD的激光加工设备及操作方法，涉及激光束加工领域，解决了只能装夹固定尺寸较大的待加工件，很难对尺寸较小的待加工件进行装夹固定，比如小尺寸的CVD金刚石，使得很难通过激光切割的方式加工小尺寸的CVD金刚石的问题，其包括机架和激光发射组件，还包括设于机架上的装夹组件，所述装夹组件包括设于聚焦镜下侧的装夹架、固定于装夹架上的装夹块和通过吸气管与装夹块连接的抽气件，所述机架具有一支撑板，所述装夹架设于支撑板上，所述装夹块远离装夹架的一侧开设有与吸气管互相连通的吸附口。本申请具有实现了对小尺寸的待加工件装夹固定，以对CVD金刚石等小尺寸待加工进行激光切割的效果。