[发明专利]一种多组热丝反应设备

摘要

本发明公开一种多组热丝反应设备，属于热丝气相沉积技术领域。所述多组热丝反应设备包括外壳，外壳内沿长度方向并排设有若干个移动平台，移动平台均通过滑动机构设置在外壳内，移动平台上均固定设置有反应室，反应室内均设置有热丝气相沉积反应组件；外壳内的顶部还固定设置有加热装置，加热装置的底部设置有衬底托盘，衬底托盘用于安装衬底。本发明提供的一种多组热丝反应设备中，多个反应室中可以装入不同种类的热丝，在需要沉积不同种类的薄膜时，能够避免因频繁地更换热丝而浪费时间；多个反应室能够同时工作，实现在同一块衬底上同时沉积同种或不同种的薄膜材料，极大地提高了反应速率，扩大了沉积面积，方便操作。