[发明专利]一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置在审
| 申请号： | 202010572621.2 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111842016A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 辛斌杰;严庆帅;谢翔宇;臧丽然;贺炎;刘露露;江燕婷;徐丽丽;黄一凡;李安琪 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/04 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 刘宗磊 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，包括有成膜系统和抽气系统，抽气系统包括有一密封回收罩，密封回收罩底部设置有回收口，回收口与真空吸取器相连；成膜系统包括有设于密封回收罩内的载物盘和基片，基片为“U”型并且倒扣在载物盘的上表面，基片的内径设置有内齿与载物盘外径上的外齿相啮合，在载物盘上表面设置有若干个中空吸盘以用于将基片内部开口的下表面吸附住，载物盘底部设置有纵向旋转轴以可水平旋转，载物盘的转轴内设有中空管道，中空管道上端与各中空吸盘相连，另一端通过抽气管与抽气泵相连。本发明节约了化学原料，同时使得回收盘易于清理，为化学废料的后处理减轻了负担，并且此装置结构简单、使用维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 回收 前驱 溶液 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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