[发明专利]一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置有效
| 申请号： | 202010574555.2 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111650163B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李铭;达争尚;段亚轩;陈永权;李红光;袁索超;王璞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 史晓丽 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及高功率激光增透膜透过率测量技术，具体涉及一种高功率激光增透膜透过率测量方法，以解决现有的增透膜透过率测量精确度低的问题。本发明所采用的技术方案为；一种高功率激光增透膜透过率测量方法，首先，控制计算机控制激光光源设备输出准直光束；其次，通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统中形成第一干涉条纹图像；再次，样品台将待测透射元件切入干涉光路中，在探测系统中形成第二干涉条纹图像；最后，控制计算机对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理并计算增透膜透过率；本发明还提供了一种高功率激光增透膜透过率测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 激光 增透膜 透过 测量方法 及其 测量 装置 | ||
【主权项】：
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