[发明专利]金属掩膜板在审
| 申请号： | 202010576355.0 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111748766A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 唐振;戴万里;李玉鑫;王衣可 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种金属掩膜板，本申请中金属掩膜板的异形遮蔽条包括主干、设置于主干一侧的异形突块、以及设置于主干另一侧且与异形突块相对的直边；其中，直边相对于主干形成有与异形突块反拉伸作用的突起，且所述主干两端均设置有焊接区域，所述异形突块与所述焊接区域之间采用光滑结构过渡，在金属掩膜板在张网焊接时，由于主干上采用了异形突块和光滑过渡结构，有效降低因焊接产生的突变量，增加了Y方向金属掩膜板的稳定性，避免了异形异形支撑条因为Y方向结构不对称导致张网精度差，从而实现金属掩膜板的高精度张网，保证镀膜的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 | ||
【主权项】：
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