[发明专利]阻变存储器及其制备方法在审
申请号: | 202010576753.2 | 申请日: | 2020-06-22 |
公开(公告)号: | CN111668252A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 罗庆;姜鹏飞;吕杭炳;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24;H01L45/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种阻变存储器及其制备方法。其中,该阻变存储器包括:阻变介质层,用于阻变存储;其中,阻变介质层包括:掺杂介质层,其部分具有一定掺杂浓度的金属原子,用于在阻变存储器中形成局部增强电场,使得阻变存储器的导电通道生成位置可控,从而提高器件可靠性,同时,因此可以使得本发明的阻变存储器具有免去初始激活过程特性,在初始时稳定表现为低阻态,防止在大电压激活过程中造成的电流过冲问题,此外在保证了较好电压耐受能力的同时,可以使得器件本申请的尺寸得到很好的控制,降低了大电压的功耗。 | ||
搜索关键词: | 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的