[发明专利]一种衬底传送装置及衬底传送方法

摘要

本发明提供了一种衬底传送装置及衬底传送方法，定位底座、定位杆和抓取装置，其中，底座位于本装置的下部，定位杆的一端与定位底座连接，定位杆的另一端与抓取装置连接。本发明一种具有取片功能的取片装置，在薄膜沉积结束后，可直接用该工具取送晶圆托盘，不受设备腔内温度的影响，且该机构使用安全，省力，在操作过程中，工具操作可以提高人身安全，克服了托盘较重、较大的苦难，加快了取片速度提高生产能力，降低操作者劳动强度，该装置运行方式灵活，处理效果稳定，提高了工作效率，减轻工人劳动强度，具有极高的生产经济价值。