[发明专利]干燥机构及具有其的石英管清洗装置

摘要

本发明公开了一种干燥机构及具有其的石英管清洗装置，该干燥机构包括供气模块、承托模块和喷射模块，供气模块内清洗有吹扫气体，承托模块用于承托待干燥石英管，喷射模块与承托模块配合且与供气模块连通，喷射模块上设有喷射孔组，喷射模块为可伸缩结构，至少部分喷射模块能够伸入到待干燥石英管的内部，以使吹扫气体对待干燥石英管的内表面进行干燥。由于喷射模块为可伸缩结构且能够进入到待干燥石英管的内部，使得吹扫气体能够充分与待干燥石英管的内壁接触，从而提高了待干燥石英管的吹扫干燥的速度，进而提高了石英管的处理效率，降低了制造的成本。