[发明专利]消除透镜色差的激光修复装置及方法有效
申请号: | 202010596542.5 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN112171051B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 金弘植 | 申请(专利权)人: | HB技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 郭放;许伟群 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种调节成像距离而能够消除透镜的色差的激光修复装置和方法。根据本实施例的一个方面,激光修复装置包括:激光装置,其照射激光束;狭缝,其改变所通过的激光束或光的形状;第一照明,其照射用于确认上述狭缝所改变的激光束的形状的光;物镜,其将穿过上述狭缝的激光束或光向待修复的基板照射;第一透镜,其使激光束或光经由上述物镜向基板照射;以及图像装置,其接收从上述基板反射的光。 | ||
搜索关键词: | 消除 透镜 色差 激光 修复 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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