[发明专利]显示面板用阵列基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 202010601725.1 申请日: 2020-06-28
公开(公告)号: CN112213894B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 中泽昭则 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1343
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 董煜晗
地址: 日本国大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种显示面板用阵列基板的制造方法,其制造适用于显示面板时抑制缺陷产生的阵列基板,其包括:形成规定形状的金属膜(51)的金属膜形成工序;在金属膜(51)的上层侧形成有绝缘性的绝缘膜(52)的绝缘膜形成工序;及在绝缘膜(52)的上层侧形成有导电性的导电膜(54)的导电膜形成工序;在金属膜(51)形成工序后且所述绝缘膜形成工序前,实施金属膜形状检查工序,所述金属膜形状检查工序检查金属膜(51)是否形成为如所述规定形状,在金属膜形状检查工序中,金属膜(51)被识别在所述规定形状以外的区域中形成有突出部分的情况下,在所述绝缘膜形成工序之前,对所述突出部分实施激光照射工序,修正金属膜(51)的形状。
搜索关键词: 显示 面板 阵列 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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