[发明专利]铌旋转靶材的成型方法在审
申请号: | 202010604811.8 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN111996503A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 宿康宁;汪凯;杜领会;黄浩;李小平;李兆博;李积贤;任志东;张静 | 申请(专利权)人: | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/14;B21B19/04;B21B37/00;B21B37/46 |
代理公司: | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人: | 张芳 |
地址: | 753000 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明涉及一种铌旋转靶材的成型方法。其特点是,包括如下步骤:(1)取圆柱体铌锭,要求纯度≥99.9%,直径Φ≥190mm;(2)将铌锭锻造打圆,控制加工率20%‑30%,打圆后的直径Φ≥140mm;(3)车削表面缺陷,车削后的直径Φ≥130mm;(4)在得到的铌锭中心预制直径15‑45mm导向孔;(5)将得到的铌锭加热至80‑120℃,涂附高温防氧化玻璃粉,要求涂附2遍;(6)将得到的铌锭加热至1000℃‑1450℃,保温;(7)采用三辊斜轧穿孔设备进行穿孔;(8)对得到的管坯进行校直即可。此方法生产效率高,材料利用率高,内部组织均匀,保证了旋转铌靶更高的使用要求。 | ||
搜索关键词: | 旋转 成型 方法 | ||
【主权项】:
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