[发明专利]用于获取电子反向散射衍射图样的方法和系统在审
| 申请号： | 202010610022.5 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN112179928A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | P·斯特斯卡尔;C·J·斯蒂芬斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于获取电子反向散射衍射图样的各种方法和系统。在一个实例中，通过将带电粒子束引向ROI内的多个撞击点并检测从所述多个撞击点散射的粒子来执行第一次扫描。基于检测到的粒子来计算所述多个撞击点中的每个撞击点的信号质量。基于每个撞击点的所述信号质量来计算所述ROI的信号质量。响应于所述ROI的所述信号质量低于阈值信号质量，执行对所述ROI的第二次扫描。可以基于检测到的来自所述第一次扫描和所述第二次扫描两者的粒子来形成样品的结构图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 获取 电子 反向 散射 衍射 图样 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010610022.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
