[发明专利]一种检测设备及检测设备的检测方法在审
| 申请号： | 202010614216.2 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111721781A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;范铎;方一;张鹏斌 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/03 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 宋天凯 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种检测设备及检测设备的检测方法，其中，该检测设备包括：探测单元，所述探测单元被配置为对待测试样进行第一检测和第二检测，所述第一检测包括对待测试样的边缘进行扫描检测、以确定所述待测试样的特征点位置与预定位置的偏离状态，所述第二检测包括对所述待测试样进行检测，获取待测试样的待测目标的物理信息。采用这种结构，该检测设备具有结构简单、成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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