[发明专利]掩膜片和掩膜版在审
| 申请号： | 202010614323.5 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111809146A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 张丁成;王水俊;李伟丽;范波涛;孙飞 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜片，包括蒸镀区和非蒸镀区，所述蒸镀区具有多个蒸镀开口；所述非蒸镀区与所述蒸镀区邻接设置，所述非蒸镀区划分有阻隔区与焊接区，所述阻隔区具有多个阻隔开口，且多个所述阻隔开口位于所述焊接区与所述蒸镀区之间。本发明实施例通过在蒸镀区和焊接区之间设置阻隔区，在阻隔区进一步设置多个阻隔开口，可以在焊接过程中，焊接点将大褶皱打散成多个小褶皱时，阻挡小褶皱向蒸镀区延伸，一定程度上缓解焊接过程中小褶皱向蒸镀区延伸对对位精度造成的影响，提升蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 膜片 掩膜版 | ||
【主权项】：
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