[发明专利]一种铜靶材组件的除锈打磨方法在审
| 申请号： | 202010628404.0 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111775018A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;于江花 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B7/10;B24B27/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铜靶材组件的除锈打磨方法，所述除锈打磨方法包括：利用打磨介质对所述铜靶材组件的锈面依次进行锈面打磨和纹路打磨；打磨后所述锈面的粗糙度Ra≤0.8μm；所述纹路打磨从锈面的中心点处开始打磨。通过本发明提供的除锈打磨方法通过利用锈面打磨和纹路打磨之间的协同作用同时控制打磨后锈面的粗糙度，不仅实现了通靶材组件中锈面的去除，同时经打磨后靶材的性能完好，没有任何变化。进而有效的避免锈面在使用过程或溅射中异常放电的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜靶材 组件 除锈 打磨 方法 | ||
【主权项】：
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