[发明专利]一种单晶硅生长炉的外部装料机构

摘要

本发明公开了一种单晶硅生长炉的外部装料机构，包括生长炉炉体，生长炉炉体的两侧上端均固定连接有支撑板，支撑板的上端共同固定连接有安装板，安装板的两侧之间的距离比两个支撑板之间的距离大，安装板的一侧安装有上料机构，安装板的中部安装有注料机构，安装板的中部安装有四个辅助支撑机构，本发明的安装板上设置了注料机构，注料机构的分流板插在生长炉炉体的内部，当单晶硅原料落入固定罩的内部时，分流板会将单晶硅原料分成多股，分流后的单晶硅原料会沿着分流板落到生长炉炉体的内侧壁上，并沿着生长炉炉体的内侧壁落到生长炉炉体的内部下端，可防止单晶硅原料直接进入生长炉炉体的内部，损坏生长炉炉体。