[发明专利]抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃在审
| 申请号： | 202010641593.5 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN111943526A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邓辉;李如林 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C03B29/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及玻璃抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃。抛光方法包括：通过工作气体产生等离子体；通过产生的所述等离子体给石英玻璃表面加热；使得石英玻璃冷却。本发明还公开了一种抛光装置，用于对石英玻璃的表面进行抛光，本发明还公开了一种将高温等离子体作为石英玻璃的抛光工具的应用。本发明还公开了一种石英玻璃，通过上述方法加工生成。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 方法 应用 装置 石英玻璃 | ||
【主权项】：
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